12英寸晶圓臨時(shí)鍵合設(shè)備
該設(shè)備用于12 inch 晶圓級(jí)臨時(shí)鍵合工藝， 集成了涂膠、 洗邊、 烘烤、 晶圓翻轉(zhuǎn)、 預(yù)鍵合與鍵合等工藝單元。
設(shè)備優(yōu)勢(shì)
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01具備高精度洗邊功能
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02一個(gè)預(yù)鍵合腔托兩個(gè)鍵合腔，提升鍵合效率
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03預(yù)鍵合配置光學(xué)識(shí)別
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04鍵合配置主動(dòng)與被動(dòng)調(diào)平機(jī)構(gòu)
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05熱板配置高，滿足制程烘烤能力
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06可兼容翹曲值5mm以下的晶圓加工
設(shè)備展示
基本信息
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1. 適用產(chǎn)品：2.5D、3D以及FO 12 inch 晶圓
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